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應材推面板電子束檢視系統 獲6家面板製造廠訂單

鉅亨網 鉅亨網 2016/9/22 鉅亨網記者蔡宗憲 台北

半導體大廠應材 (AMAT-US) 今 (22) 日宣布,推出用於顯示器產業第一台可在生產線上使用的高解析度電子束檢視 (EBR) 系統,讓面板廠能更迅速達成 OLED 與 UHD LCD 產品的最佳化良率,目前已獲全球前十大顯示器製造廠中 6 家訂單,且訂單持續增加中。

應材是半導體產業 EBR 技術之領導廠商,2015 年市占率超過 70%,應材將原來運用在半導體元件檢視的先進掃描式電子顯微鏡技術,進一步結合在大尺寸顯示器的真空系統平台上,成為生產線上使用的 EBR 技術,以最快速有效的方式,在製造先進行動裝置與電視顯示器時,發現與分析造成良率損失缺陷的原因。

當製造商追求迅速、成本效益,創造良率極大化,更快速地向市場推出新型式顯示器時,應用材料公司的 EBR 系統已接獲世界前十大顯示器製造商中六家的訂單,且訂單需求持續增加中。

應材資深副總裁阿里 ‧ 沙勒普爾 (Ali Salehpour) 表示,嶄新的 EBR 系統是顯示器產品堅實的生力軍,能協助客戶解決 OLED 與 LCD 面板製造的嚴峻挑戰,結合應材獨特的兩項技術,半導體良率優化技術及面板級掃描電子顯微鏡 (SEM) 技術,不但能開拓潛在市場,還能幫客戶避開優化良率過程上高成本的耗損,新興應用如擴增實境與虛擬實境、智慧型載具等都需要形式上更好更新的顯示器。

中國天馬微電子副總裁馬駿表示,作為全球顯示器領導廠,天馬與應材具有堅實的合作關係,有助天馬發展新技術,生產符合消費者需求的高品質、高效能行動裝置顯示器,應材的 EBR 系統能縮短武漢廠從建廠到量產之時間。 

應材表示,先進顯示器科技需要增加更多製程步驟,在尚未推出 EBR 系統之前,以 SEM 分析顯示器製品,需用破壞性檢視,須將玻璃基板切割成小片以取得樣品,再分別將每塊小片於顯微鏡下做檢查,不僅耗資、耗時,還無法定位缺陷在整片面板上確切的位置;應材藉提供製造線上的 SEM 檢視,以最高解析度及分析速度,不需破壞面板,可一舉解決上述的這些限制。

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