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奈米管材質大突破 台科大研發登國際期刊

中央通訊社 標誌中央通訊社 2017/12/5 許秩維
奈米管材質大突破 台科大研發登國際期刊 © 中央社 奈米管材質大突破 台科大研發登國際期刊

(中央社記者許秩維台北5日電)台科大研究團隊研發出非晶金屬合金的奈米管,是全球首次成功製造將排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上,也是奈米管材質上的重大突破。

台灣科技大學今天發布新聞稿表示,台科大研究團隊在奈米管材質上有重大突破,有別於一般的碳奈米管,台科大研發出非晶金屬合金(金屬玻璃)的奈米管,是全球首次成功製造將排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上,研究結果刊登於頂尖國際期刊「今日材料(Materials Today)」。

台科大研究團隊表示,奈米管大多為碳質或陶瓷氧化物的材料,且多為混亂排列結構,如果要排列成整齊的奈米管,不僅製程困難、繁瑣,且很難大面積化,團隊嘗試使用不同的材料應用在奈米管上,希望讓半導體製程更有效率並降低成本。

研究團隊利用非晶金屬合金具有較高強度的特性,結合簡易的半導體微影製程及濺鍍的鍍膜方式,成功製造出排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上。

研究團隊成員、台科大材料系教授陳建光指出,研究團隊藉由純熟、可量產、大面積化的半導體微影技術,輕易調整奈米管的尺寸,此技術製程簡易且皆於常溫下進行,因此能製備在矽晶片、玻璃、聚合性高分子等各種材質上。

台科大材料系教授朱瑾也表示,未來研究團隊期望將金屬玻璃奈米管陣列應用在生物感測晶片上,提供更快速精準的檢測,解決傳統半導體矽奈米元件高成本及定量檢測不易的問題,相信對生物感測晶片的開發與製造將會有很大的突破。1061205(照片由台科大提供)

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